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扩散工艺
扩散目的
在来料硅片 p 型硅片的基础上扩散一层 n 型磷源，形成 pn 结。
扩散原理
pocl 3 在高温下 （ >; 600 ℃ ） 分解生成五--- （ pcl 5 ） 和五氧化二磷 （ p 2 o 5 ）， 其反应式如下 ：
5pocl 3=3pcl 5 +p 2 o 5
生成的 p 2 o 5 在扩散温度下与硅反应 ， 生成二氧化硅 （ sio 2 ） 和磷原子 ， 其反应式如下 ：
2p 2 o 5+ 5si = 5sio 2 + 4ppocl 3
热分解时，如果没有外来的氧（ o 2 ）参与其分解是不充分的，生成的 pcl5 是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来 o2 存在的情况下， pcl 5 会进一步分解成 p2o 5 并放出---（ cl 2 ）其反应式如下：
4pcl 5 +5o 2=2p 2 o 5 +10cl 2
生成的 p 2 o 5 又进一步与硅作用，生成 sio 2 和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了促使 pocl3 充分的分解和避免 pcl 5 对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。就这样 pocl 3 分解产生的 p 2 o 5 淀积在硅片表面， p 2o 5 与硅反应生成 sio 2 和磷原子，并在硅片表面形成一层磷 - 硅玻璃，亳州拆卸组件，然后磷原子再向硅中进行扩散。
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国际性锂电池回收现行政策
1991年欧洲共同体施行实施充电电池命令（91/157/eec），并随之充电电池产业链的迅速发展趋势和环境保护规定的不断提升，前后左右2次修定并各自颁布了充电电池命令（93/86/eec）和（98/101/eec）。2006年欧洲共同体公布锂电池回收新命令（2006/66/ec），要求其理事国锂电池回收再运用总体目标在2016年9月26日以前充电电池综合性利用率超过45%，工业生产充电电池保持100%收购；后于2008年填补公布了废料架构命令（2008/98/ec），对废旧电池类型深化细分化，确立锂电池回收等級。
1993年日本国修定<节能法>并一起施行<再生能源法>合理布局锂电池回收；于2000年---部门实施“3r”方案（recycling/reuse/reduce），明确规定创建充电电池“循环系统-再运用”收购系统软件。1991年和1994年英国陆续创立手持式充电锂电池研究会（prba）充电电池和充电锂电池回收商（pbrc），并制订生态环境保护规范輔助锂电池回收。
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pecvd
pe 目的
在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。
其化学反应可以简单写成 ： sih 4 +nh 3 =sin:h+3h 2 。
基本 原理
pecvd 技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加---体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。 pecvd 方法区别于其它 cvd 方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的---能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性---的各种化学基团，因而---降低 cvd 薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的 cvd 过程得以在低温下实现。
基本特征
1. 薄膜沉积工艺的低温化（ < 450 ℃ ）。
2. 节省能源，降低成本。
3. 提高产能。
4. 减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减。
扩散方式
pe 设备有两类：平板式和管式。
按反应方式分为：直接式（岛津）和间接式（ roth ＆ rau ）。
直接式：基片位于一个电极上，直接接触等离子体。
间接式：基片不接触激发电极。 在微波激发等离子的设备里，等离子产生在反应腔之外，然后由石英管导入反应腔中。在这种设备里微波只激发 nh3 ，而 sih4 直接进入反应腔。间接 pecvd 的沉积速率比直接的要高很多，这对---生产尤其重要。
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