振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:---回收硅片,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,el,---测试,二手,旧,工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,---偿还,返工,光伏模块回收等。
影响因素
1 .频率
射频 pecvd 系统大都采用 50khz~13.56 mhz 的工业频段射频电源。较高频率( >;4mhz )沉积的氮化硅薄膜具有---的钝化效果和稳定性。
2 .射频功率
增加 rf 功率通常会--- sin 膜的。但是,功率密度不宜过大,超过 1w/cm2 时器件会造成---的射频损伤。
3 .衬底温度
pecvd 膜的沉积温度一般为 250 ~ 400 ℃ 。这样能---氮化硅薄膜在hf 中有足够低的腐蚀速率,并有较低的本征压力,从而有---的热稳定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉积的氮化硅膜,本征应力很大且为张应力,而温度高于 450 ℃ 时膜容易龟裂。
4 .气体流量
影响氮化硅膜沉积速率的主要气体是 sih4 。为了防止富硅膜,选择nh3/sih4=2~20 (体积比)。气体总流量直接影响沉积的均匀性。为了防止反应区下游反应气体因耗尽而降低沉积速率,通常采用较大的气体总流量,以---沉积的均匀性。
5 .反应气体浓度
sih4 的百分比浓度及 sih4/nh3 流量比,对沉积速率、氮化硅膜的组分及物化性质均有重大影响。
理想 si3n4 的 si/n = 0.75 ,而 pecvd 沉积的氮化硅的化学计量比会随工艺不同而变化,但多为富硅膜,可写成 sin 。因此,必须控制气体中的 sih4 浓度,不宜过高,并采用较高的 sin 比。除了 si 和 n 外, pecvd 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子,即 sixnyhz 或 sinx :h 。
6 .反应压力、和反应室尺寸 等都是影响氮化硅薄膜的性能工艺参数。
振鑫焱光伏科技有限责任公---期购置:天价回收硅片,电池片,初中级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳电池,太阳能组件,太阳能光伏板,顾客撤离,退级,库存量,el,欠佳检测,2手,旧工程项目,拆装,道路路灯,硅片回收公司,拆卸发电厂,拆装,人造板,层压板,---限结晶硅,多晶硅,单晶硅,试验板,负债---,返修,太阳能发电控制模块收购等。
电池片各工艺流程危害要素及异常现象
一回清理危害要素
1.溫度
溫度过高,先就是说ipa不太好---,溫度一高,ipa的蒸发迅速,汽泡印就会随着出---,硅片板回收,那样就---减少了pn结的合理总面积,硅片,反映加重,还会出---影片的飘浮,导致残片率的提升。可控性水平:调整设备的设定,能够---的调整溫度。
2.時间金字塔式随時间的转变:金字塔式慢慢冒出;表层上基础被小金字塔式遮盖,少数刚开始成才;金字塔式满布的绒面早已产生,仅仅尺寸不匀称,透射率也降至较为低的状况;金字塔式向外扩大企业兼并,容积慢慢澎涨,规格趋向平等,透射率略微降低。可控性水平:调整机器设备主要参数,能够---的调整時间。
3.ipa1.帮助氡气的释放出来。2.变弱naoh水溶液对硅片的浸蚀幅度,调整各向系数。纯naoh水溶液在高溫下对分子排序较为---的100晶面和较为高密度的111晶面毁坏较为大,每个晶面被浸蚀而消溶,ipa---变弱naoh的浸蚀抗压强度,提升了浸蚀的各向---,有益于金字塔式的成型。酒精含水量过高,碱水溶液对硅水溶液浸蚀工作能力越来越太弱,各向---系数又趋向3。可控性水平:依据初次配液的含水量,及每一次大概耗费的量,来填补足量的液---,线性度不高。
振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:---回收硅片,电池片,回收电站拆卸硅片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,el,---测试,二手,旧工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,---偿还,返工,光伏模块回收等。
四、 铝珠:
铝珠产生的---原因是过烧,铝的熔点是660℃,当铝受热超过这一温度时,铝颗粒熔化形成了铝珠。通常,烧结炉的设置温度都远高于这一温度,这里所说的660℃是指电池片表面实际感受的温度,设置的温度虽高,由于烧结炉带速很快,铝层实际感受到的温度是远低于设置温度的。
解决这一问题的办法是降下烧结区温度,或是加快烧结炉的带速,减少热量的给予。此法效果非常明显,铝珠可得到有效控制。另一方面过分降温会损失电池片的电性能数据,那么降到什么程度呢,我们的经验是,降温到电池片背面手感略微粗糙即可。
五、 铝刺:
1、 背场印刷表面不均匀:检查刮条的平整度;
2、 烧结网带不洁净:清洗网带或对忘带进行打磨;
3、 烧结网带抖动---:由设备人员来调整网带;
4、 烧结温度过高:不影响电性能的情况下降下烧结温度;
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