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工艺实现
为实现利用湿法刻蚀在硅片加工出刻,硅腐蚀。v 形槽条纹这一目标,需要三步工艺:氧化,光图 1 硅单晶晶体结构。
在本文中用( 100)双面抛光硅片来叙述,图 2 中 v 型槽的两个斜面为 (111)晶面,底面为(100)晶面。由晶体结构计算斜面( 111)与地面( 100)夹角 54.736°。当腐蚀的时候,从( 100)硅片上沿着( 110)方向腐蚀时掉需要腐蚀的硅原子,从而暴露出倾角为 54.736°的( 111)面,双面进行就会形成 v 型槽结构。由于硅片的腐蚀存在备向---,硅 (111)晶面的腐蚀速度远小于 (100)面的。因此,只要选择适当的腐蚀温度和时间,就能得到如图 2 所示的硅片 v 型槽。其光电效率稳定在10%以上,制作成本仅为矽太阳电池的1/5~1/10.寿命能达到---以上。将硅单晶体按( 100)方向切成所需大小的硅片。
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硅基片表面的---化处理
取出 氨化烧杯( --- ),泰州多晶硅, 先用无水---清洗 2 次, 然后倒入 20ml 无水---,将步骤( 2)反应后的获得的---化硅片转移到氨化烧杯中,用无水---清洗 3 次。清洗时同步骤(2) ,使硅片处于---环境中;根据科陆电子2017年年报,目前正在运营的光伏电站、风力电站总计约960mw(注:1gw=1000mw)。清洗完成后倒掉---,迅速加入 3-------三乙------( aptes)和无水---的混合液(体积比为 1: 15),或者先加 15ml 无水---,然后用移液管加 1mlaptes,摇床上振摇反应 2 h。该反应结束后可以使硅片表面---化。
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