石河子光伏组件-振鑫焱光伏科技-回收光伏组件价格

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刻蚀工艺

刻蚀目的

将硅片边缘的带有的磷去除干净，避免 pn 结短路造成并联电阻降低。

刻蚀原理

采用干法刻蚀。采用高频辉光放电反应， 采用高频辉光放电反应，使反应气体---成活性粒子，如原子或各种游离基，这些活性粒子扩散到硅片边缘，在那里与硅进行反应，形成挥发性生成物四---硅而被去除。

化学公式： cf 4 +sio 2 =sif 4 +co 2

工艺流程

预抽，主抽，送气，辉光，抽空，清洗，预抽，主抽   ，充气。

影响因素

1. 射频功率

射频功率过高：等离子体中离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤，导致边缘区域的电性能差从而使电池的性能下降。在结区（耗尽层）造成的损伤会使得结区复合增加。

射频功率太低：会使等离子体不稳定和分布不均匀，从而使某些区域刻蚀过度而某些区域刻蚀不足，导致并联电阻下降。

2. 时间

刻蚀时间过长：刻蚀时间越长对电池片的正反面造成损伤影响越大，时间长到一定程度损伤不可避免会延伸到正面结区，从而导致损伤区域高复合。

刻蚀时间过短：刻蚀不充分，没有把边缘鳞去干净， pn 结依然有可能短路造成并联电阻降低。

4.   压力

压力越大，气体含量越少，参与反应的气体也越多，刻蚀也越充份。

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国际性锂电池回收现行政策 

1991年欧洲共同体施行实施充电电池命令（91/157/eec），并随之充电电池产业链的迅速发展趋势和环境保护规定的不断提升，前后左右2次修定并各自颁布了充电电池命令（93/86/eec）和（98/101/eec）。2006年欧洲共同体公布锂电池回收新命令（2006/66/ec），要求其理事国锂电池回收再运用总体目标在2016年9月26日以前充电电池综合性利用率超过45%，工业生产充电电池保持100%收购；后于2008年填补公布了废料架构命令（2008/98/ec），对废旧电池类型深化细分化，确立锂电池回收等級。

1993年日本国修定<节能法>并一起施行<再生能源法>合理布局锂电池回收；于2000年---部门实施“3r”方案（recycling/reuse/reduce），明确规定创建充电电池“循环系统-再运用”收购系统软件。1991年和1994年英国陆续创立手持式充电锂电池研究会（prba）充电电池和充电锂电池回收商（pbrc），并制订生态环境保护规范輔助锂电池回收。