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影响因素
1 .频率
射频 pecvd 系统大都采用 50khz~13.56 mhz 的工业频段射频电源。较高频率( >;4mhz )沉积的氮化硅薄膜具有---的钝化效果和稳定性。
2 .射频功率
增加 rf 功率通常会--- sin 膜的。但是,功率密度不宜过大,超过 1w/cm2 时器件会造成---的射频损伤。
3 .衬底温度
pecvd 膜的沉积温度一般为 250 ~ 400 ℃ 。这样能---氮化硅薄膜在hf 中有足够低的腐蚀速率,并有较低的本征压力,从而有---的热稳定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉积的氮化硅膜,本征应力很大且为张应力,而温度高于 450 ℃ 时膜容易龟裂。
4 .气体流量
影响氮化硅膜沉积速率的主要气体是 sih4 。为了防止富硅膜,选择nh3/sih4=2~20 (体积比)。气体总流量直接影响沉积的均匀性。为了防止反应区下游反应气体因耗尽而降低沉积速率,通常采用较大的气体总流量,以---沉积的均匀性。
5 .反应气体浓度
sih4 的百分比浓度及 sih4/nh3 流量比,对沉积速率、氮化硅膜的组分及物化性质均有重大影响。
理想 si3n4 的 si/n = 0.75 ,而 pecvd 沉积的氮化硅的化学计量比会随工艺不同而变化,但多为富硅膜,可写成 sin 。因此,必须控制气体中的 sih4 浓度,不宜过高,并采用较高的 sin 比。除了 si 和 n 外, pecvd 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子,即 sixnyhz 或 sinx :h 。
6 .反应压力、和反应室尺寸 等都是影响氮化硅薄膜的性能工艺参数。
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收购碎电池片在电力能源运用中是很关键的1个一部分,碎充电电池的收购不但有益于自然环境的维护,一起充电电池中的硅都是十分珍贵的---源。
收购碎电池片价钱
如今市面的碎电池片通常全是多晶硅及其多晶的硅片,价钱区段在5元/件~15元/件,制成品价钱会贵许多。有的价钱在100元/件~300元/件中间,价钱供参考,期待能协助到诸位。
收购碎电池片是啥收购碎电池片是综合利用的这种。指从废弃物中提取的有效化学物质历经物理学或机械加工制造变成再运用的工艺品。比如废夹层玻璃、废旧金属、废旧电池等的综合利用。并指以将再度转让的方法回收二手货。电池片中带有原生态硅,关键收购的就是说硅。
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电池片丝网印刷技术
印刷厚度:丝网和感光膜的厚度决定印刷后图形的厚度即线条的厚度,如图 10 所示,在一般情况下,丝网目数越低,丝经越粗,印刷后的浆料层就越高,所用丝网目数较高时,印刷后浆料层就低一些。感光膜的厚度与丝网目数和线条的宽度有关:目数越高,丝径越细,感光膜与丝网的接触面积越小,二者的附着力减小,
果印刷线条变窄,增加感光膜的厚度易造成脱落,所以感光膜较薄,感光膜的厚度约为丝网厚度的 15 %~ 25 %;对于背铝和背银工序,选取250 目丝网,其厚度为 58um,感光膜厚度为 10 ~ 15um ,则印后厚度为 68 ~ 73μm ,这里计算出来的厚度时浆料的湿厚度( wetthickness ).需经过烘干( dry )和烧结( fire )才是终厚度(干厚度),干厚度是湿厚度的 30% ~ 40% ;对于正银工序,选取 330 目丝网,其厚度为 44um ,感光膜厚度为 5 ~ 10μm ,则印后湿厚度约为 49 ~ 54μm 。
选择丝网丝径及目数时,回收降级太阳能板,要求网格的孔长为浆料粉体粒径的 2.5 ~ 5 倍;目数越低丝网越稀疏,网孔越大,油墨通过性就越好;网孔越小,油墨通过性越差,如图 9 所示。
网框 :网框大多采用硬铝及铝合金以承受绷网所产生的力,连接丝网的底面需要较高的平面度,约为 0.04mm × 150mm × 150mm ; 网框规格一般为承印物的 2 倍:以 150mm 电池片为例,承印物面积为
150mm × 150mm ,网框内口的面积应为
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