振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:---回收硅片,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,el,---测试,二手,旧,工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,---偿还,返工,光伏模块回收等。
刻蚀工艺
刻蚀目的
将硅片边缘的带有的磷去除干净,避免 pn 结短路造成并联电阻降低。
刻蚀原理
采用干法刻蚀。采用高频辉光放电反应, 采用高频辉光放电反应,使反应气体---成活性粒子,如原子或各种游离基,这些活性粒子扩散到硅片边缘,在那里与硅进行反应,形成挥发性生成物四---硅而被去除。
化学公式: cf 4 +sio 2 =sif 4 +co 2
工艺流程
预抽,主抽,送气,辉光,抽空,清洗,预抽,主抽 ,充气。
影响因素
1. 射频功率
射频功率过高:等离子体中离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤,导致边缘区域的电性能差从而使电池的性能下降。在结区(耗尽层)造成的损伤会使得结区复合增加。
射频功率太低:会使等离子体不稳定和分布不均匀,从而使某些区域刻蚀过度而某些区域刻蚀不足,导致并联电阻下降。
2. 时间
刻蚀时间过长:刻蚀时间越长对电池片的正反面造成损伤影响越大,时间长到一定程度损伤不可避免会延伸到正面结区,从而导致损伤区域高复合。
刻蚀时间过短:刻蚀不充分,没有把边缘鳞去干净, pn 结依然有可能短路造成并联电阻降低。
4. 压力
压力越大,气体含量越少,参与反应的气体也越多,刻蚀也越充份。
从图 5 的印刷原理示意中可以看出,刮刀的作用是将浆料以一定的速度和角度将浆料压入丝网的漏孔中,刮刀在印刷时对丝网保持一定的压力,刃口压强在 10 ~ 15n / cm 之间,刮板压力过大容易使丝网发生变形,印刷后的图形与丝网的图形不一致,也加剧刮刀和丝网的磨损,刮板压力过小会在印刷后的丝网上存在残留浆料。
刮刀材料一般为聚胺脂橡胶或---橡胶,硬度范围为邵氏 a60° ~ a90° ,刮板条的硬度越低,印刷图形的厚度越大,刮刀材料必须耐磨,刃口有---的直线性,保持与丝网的全接触;刮刀一般选用菱形刮刀,它具有 4 个刃口,可逐个使用,利用率高。
刮刀速度:刮刀速度是决定效率的大因素,以半自动印---为例,印刷所占时间一般为总循环的 2 / 3 ;印刷速度的设定由印刷图形和印刷用浆料的黏度决定,速度越高,刮刀带动浆料进入丝网漏孔的时间越短,浆料的填充性会差,出现图 7 所示现象,如果印刷线条精细,速度应低一些,图 4 所示的正银工序中栅线的线宽在 0.1 ~ 0.12nun ,一般速度设定在 200 ~ 250mm / s ,图 3 所示的背铝和背银工序因印刷线条宽速度设定在 300mm / s ;印刷用浆料因不同工序而不同,相应黏度不同,但总体黏度比较低,所以印刷速度较快;在实际的印刷中速度的恒定同样很重要,如果在印刷过程中速度出现波动,会导致图形厚度的不一致。
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影响因素
1. 印刷压力的影响
在印刷过程中刮胶要对丝网保持一定的压力,且这个力必须是适当的。印刷压力过大,易使网版、刮胶使用寿命降低,使丝网变形,导致印刷图形失真。印刷压力过小,易使浆料残留在网孔中,造成虚印和粘网。在适当的范围内加大印刷压力,透墨量会减小(浆料湿重减小),栅线高度下降,宽度上升。
2. 印刷速度的影响
印刷速度的设定必须---产量和印刷。对印刷而言,印刷速度过快,浆料进入网孔的时间就短,对网孔的填充性变差,印刷出的栅线平整性受损,易产生葫芦状栅线。印刷速度上升,栅线线高上升,线宽下降。印刷速度变慢,下墨量增加,湿重上升。
3. 丝网间隙的影响
在其他条件一定的情况下,丝网间隙与湿重大致有如右图的关系:两者几乎呈比例上升,之后丝网间隙加大,湿重降低,后突然变为零。丝网印刷时使用的是曲线的前半段(即呈比例上升段)。由此可知,丝网间隙加大,下墨量多,湿重增大。丝网间隙过大,易使印刷图形失真;过小,容易粘网。 刮胶硬度的影响 刮胶材料一般为聚胺脂或---橡胶,硬度 60 -90a 。刮胶硬度越大,印刷的图形越准确,原图的重现性越好。因此,正面栅线的印刷就需要选用硬度较高刮胶。刮胶硬度小,其他参数不变的情况下湿重就大,线高增加,线宽变大。
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