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扩散工艺
扩散目的
在来料硅片 p 型硅片的基础上扩散一层 n 型磷源,形成 pn 结。
扩散原理
pocl 3 在高温下 ( >; 600 ℃ ) 分解生成五--- ( pcl 5 ) 和五氧化二磷 ( p 2 o 5 ), 其反应式如下 :
5pocl 3=3pcl 5 +p 2 o 5
生成的 p 2 o 5 在扩散温度下与硅反应 , 生成二氧化硅 ( sio 2 ) 和磷原子 , 其反应式如下 :
2p 2 o 5+ 5si = 5sio 2 + 4ppocl 3
热分解时,如果没有外来的氧( o 2 )参与其分解是不充分的,生成的 pcl5 是不易分解的,并且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状态。但在有外来 o2 存在的情况下, pcl 5 会进一步分解成 p2o 5 并放出---( cl 2 )其反应式如下:
4pcl 5 +5o 2=2p 2 o 5 +10cl 2
生成的 p 2 o 5 又进一步与硅作用,生成 sio 2 和磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促使 pocl3 充分的分解和避免 pcl 5 对硅片表面的腐蚀作用,必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。就这样 pocl 3 分解产生的 p 2 o 5 淀积在硅片表面, p 2o 5 与硅反应生成 sio 2 和磷原子,并在硅片表面形成一层磷 - 硅玻璃,然后磷原子再向硅中进行扩散。
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电池片差别
太阳电池开始面世的是单晶硅太阳电池。硅是宇宙上极丰富多彩的这种原素,基本上满地常有硅的存有,百口莫辩取之不竭,用硅来生产制造太阳电池,原材料可以说不缺。可是提炼出它却不易,因此大家在生产制造单晶硅太阳电池的一起,又科学研究了多晶硅太阳电池和非晶硅太阳电池,迄今商业服务经营规模生产制造的太阳电池,都还没跳出来硅的系列产品。我觉得能够生产制造太阳电池的半导体器件许多,随之原材料工业生产的发展趋势、太阳电池的种类将很多。现阶段已开展科学研究和研发的太阳电池,除硅系列产品外,也有---镉、---镓、铜铟硒等很多种类的太阳电池,不胜枚举,下列详细介绍几类较普遍的太阳电池。归类单晶硅太阳电池。
从图 5 的印刷原理示意中可以看出,刮刀的作用是将浆料以一定的速度和角度将浆料压入丝网的漏孔中,刮刀在印刷时对丝网保持一定的压力,刃口压强在 10 ~ 15n / cm 之间,刮板压力过大容易使丝网发生变形,印刷后的图形与丝网的图形不一致,也加剧刮刀和丝网的磨损,刮板压力过小会在印刷后的丝网上存在残留浆料。
刮刀材料一般为聚胺脂橡胶或---橡胶,硬度范围为邵氏 a60° ~ a90° ,刮板条的硬度越低,印刷图形的厚度越大,刮刀材料必须耐磨,刃口有---的直线性,保持与丝网的全接触;刮刀一般选用菱形刮刀,它具有 4 个刃口,可逐个使用,利用率高。
刮刀速度:刮刀速度是决定效率的大因素,以半自动印---为例,印刷所占时间一般为总循环的 2 / 3 ;印刷速度的设定由印刷图形和印刷用浆料的黏度决定,速度越高,废降级组件回收多少钱,刮刀带动浆料进入丝网漏孔的时间越短,浆料的填充性会差,出现图 7 所示现象,如果印刷线条精细,速度应低一些,图 4 所示的正银工序中栅线的线宽在 0.1 ~ 0.12nun ,一般速度设定在 200 ~ 250mm / s ,图 3 所示的背铝和背银工序因印刷线条宽速度设定在 300mm / s ;印刷用浆料因不同工序而不同,相应黏度不同,但总体黏度比较低,所以印刷速度较快;在实际的印刷中速度的恒定同样很重要,如果在印刷过程中速度出现波动,会导致图形厚度的不一致。
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