刻蚀原理
硅的湿法刻蚀是指利用含有腐蚀剂的溶液对硅进行腐蚀 , 可分为各向同性腐蚀技术和各向---腐蚀技术。各向同性腐蚀是指各个晶向上的腐蚀速率相同 , 衬底和表面取向的不同对腐蚀速率的影响不大。 各向---腐蚀是指硅的不同晶面在某些特定的腐蚀液中被刻蚀的速率不同 , 导致各个晶向的腐蚀速率不同。现出结构边缘平滑的现象。各向同性腐蚀液常用 hf、 hn o 3 和 h2o(ch3cooh) , 用这些腐蚀液很难实现选择性腐蚀 , 并且很难能找到能够长时间承受腐蚀的材料。 各向---腐蚀液包括无机腐蚀剂和有机腐蚀剂两种 , 其中无机腐蚀剂为 nh4oh、 koh 和 naoh 等碱性溶液 , 有机腐蚀剂为 tmah 、epw( ---二酚、乙二胺、水 ) 和联胺。按现在光伏电站市场价,安装一套5kw(占地约50平米)光伏电站系统大概需要4、5万元。
通常情况下选用 koh、 ( ch3) 2choh ( ---醇也叫 ipa) [ 8] 和水作为各向---腐蚀液 ,则根据硅在腐蚀液中的腐蚀机制可表示如下:
koh+ h3o= k++2oh- +h +
si+ 2oh -+ 4h 2o=si( oh)62-
si( oh) 6 2- + 6( ch 3) 2ch oh= [ si( oc3h7 ) ] 62- + 6h 2o
然后,络合产物与---醇作用生成可溶解。
硅片的预备处理:
在通风柜内,将激光切割好的中小型硅片放置整洁的羟化烧杯(---型)中,将其反面朝上,回收------抛光片,用去离子水清洗3次,清洗时稍用力,使硅片可以在烧杯中旋转起來,以降低硅片中间的磨擦撞击;将水倒净,马上用移液管(---化物氢---型)往烧杯中添加5ml双氧水(h2o2),随后用移液管(---)添加15ml(h2so4),在摇床边迟缓震荡或静放30分鐘使之充足反映,此反映可让表层---化。扔掉上步反映的液---,用去离子水清洗3次。清洗时稍用力,使硅片可以在烧杯中转动起來,以降低硅片中间的磨擦撞击;问题是材料的来源,由于铟和硒都是比较稀有的元素,因此,这类电池的发展又必然受到---。随后将烧杯口斜放,迟缓旋转烧杯,使烧杯内壁的---能被洗掉。清洗完毕后,用很多水储存硅片,并必须使硅片的反面维持朝上。
硅有晶体硅和不定形硅二种同素异形体。晶体硅是黑灰色、有金属---、硬而脆的固态(见原素硅大晶体图),它的构造类似金钢石,溶点和熔点都---,强度也挺大。晶体硅还有一个关键的特性,就是说它的导电率接近导体和绝缘体中间,是优良的半导体器件。
上年有好几个省区改动了輔助服务项目的实施方案,---是在三北地域对调整开关电源的补助较为高。年末电监会南方---局也下达了通告,容许储能电站单独参加或是与别的行为主体协同参加輔助消费市场。通告也提及说储能电站依据电力调度组织命令进到充电情况的,按其出示充电调峰服务项目统计分析,对充电用电量开展赔偿。”振鑫焱光伏科技有关人士表达。在自然界中,没有游离态的硅,只有以化合态存在的硅,如二氧化硅、硅酸盐等。
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