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扩散工艺
扩散目的
在来料硅片 p 型硅片的基础上扩散一层 n 型磷源,形成 pn 结。
扩散原理
pocl 3 在高温下 ( >; 600 ℃ ) 分解生成五--- ( pcl 5 ) 和五氧化二磷 ( p 2 o 5 ), 其反应式如下 :
5pocl 3=3pcl 5 +p 2 o 5
生成的 p 2 o 5 在扩散温度下与硅反应 , 生成二氧化硅 ( sio 2 ) 和磷原子 , 其反应式如下 :
2p 2 o 5+ 5si = 5sio 2 + 4ppocl 3
热分解时,如果没有外来的氧( o 2 )参与其分解是不充分的,生成的 pcl5 是不易分解的,并且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状态。但在有外来 o2 存在的情况下, pcl 5 会进一步分解成 p2o 5 并放出---( cl 2 )其反应式如下:
4pcl 5 +5o 2=2p 2 o 5 +10cl 2
生成的 p 2 o 5 又进一步与硅作用,生成 sio 2 和磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促使 pocl3 充分的分解和避免 pcl 5 对硅片表面的腐蚀作用,必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。就这样 pocl 3 分解产生的 p 2 o 5 淀积在硅片表面, p 2o 5 与硅反应生成 sio 2 和磷原子,并在硅片表面形成一层磷 - 硅玻璃,然后磷原子再向硅中进行扩散。
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6、加工工艺小圆圈该怎样判?
人们检测处未作退级解决,假如发觉小圆圈的半经超出1.6mm立即向主管意见反馈或告之品管部,pecvd处会立即将高纯石墨舟换下来
7、隐裂片怎样造成?怎样判?
大部分是原料的难题,另一个是影片在外扩散高溫反映后內部分子结构产生撞击。在多芯片里,一些隐裂片裂缝并不是很长,能够按文档规定作需切角。
8、空气氧化的电池片怎样判?
如果不是将其风干,依据空气氧化后得色调判。(淡黄色)
9、怎样了解跑模产生在哪儿一条?
以料浆的色调来判,第二条豫第三道的料浆是不会改变的,各自是铝浆和银浆,色调各自为深灰色和乳白色。一层有将会是银浆或银铝浆,回收海关---光伏组件,银铝浆是灰白,另一个,要看漏浆的部位。
10、对断开未超出2mm的电池片,判断不相同? 先依照文档判断是不是超出规定的总数,如果不是,按断开的---水平及部位。
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二、 翘曲:
1、 硅片太薄:控制原始硅片厚度;
2、 印刷铝浆太厚:控制铝浆增重量;
3、 烧结温度过高:调整烧结炉4、5、6、7区温度;
4、 烧结炉冷却区冷却效果不好:查看风扇状况、进出水温度压力等
三、 铝包:
1、 烧结温度太高:调整烧结炉4、5、6、7区温度;
2、 印刷铝浆太薄:增大铝浆的印刷量;
3、 使用前浆料搅拌不充分:搅拌时间必须达到规定时间;
4、 铝浆印刷后烘干时间不够:增加烘干时间或提高烘干温度;
5、 烧结排风太小:增大烧结炉排风;
6、 烧结炉冷却区冷却区冷却效果不好:查看风扇状况、进出水温度压力等;
石嘴山回收海关---光伏组件在线咨询-振鑫焱光伏科技由苏州振鑫焱光伏科技有限公司提供。行路致远,---。苏州振鑫焱光伏科技有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的---,与您一起飞跃,共同成功!同时本公司还是从事太阳能板组件回收,发电板组件回收,光伏板组件回收的厂家,欢迎来电咨询。
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