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pecvd
pe 目的
在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。
其化学反应可以简单写成 ： sih 4 +nh 3 =sin:h+3h 2 。
基本 原理
pecvd 技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加---体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。 pecvd 方法区别于其它 cvd 方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的---能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性---的各种化学基团，因而---降低 cvd 薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的 cvd 过程得以在低温下实现。
基本特征
1. 薄膜沉积工艺的低温化（ < 450 ℃ ）。
2. 节省能源，降低成本。
3. 提高产能。
4. 减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减。
扩散方式
pe 设备有两类：平板式和管式。
按反应方式分为：直接式（岛津）和间接式（ roth ＆ rau ）。
直接式：基片位于一个电极上，直接接触等离子体。
间接式：基片不接触激发电极。 在微波激发等离子的设备里，等离子产生在反应腔之外，然后由石英管导入反应腔中。在这种设备里微波只激发 nh3 ，而 sih4 直接进入反应腔。间接 pecvd 的沉积速率比直接的要高很多，这对---生产尤其重要。
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应用充电电池现况应用数多的工业生产充电电池为铅酸蓄电池，铅占电瓶固定成本50%左右，关键选用火法、湿法冶金加工工艺及其固相电解法复原技术性。机壳为塑胶，能够再造，基础保持无污染。
中小型再次充电电池现阶段的应用总产量只能上亿只，且大部分容积较小，废旧电池运用使用价值较低，再加应用分散化，绝大多数作城市垃圾处理，其收购存有着成本费和管理工作的难题，再造运用也存有必须的技术性难题。
废旧电池做为生活垃圾处理开展集中处理时，废旧电池中的hg、cd、pb、zn等金属镉部分在高溫下人空气，部分变成脱硫石膏，造成污染。
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5 、 检测方法
5.1 设计和结构
5.1.1 基体材料
电池的基体材料应按相关详细规范的要求及检测方法进行检测。
5.1.2 电极
5.1.2.1 电池电极的完整性、电极图形位移的检验应使用分辨力优于 0.01mm 的标准尺测量。
5.1.2.2 在照度不小于 800lux 的白色光源下，目测电极是否变色。
5.1.2.3 电池电极的导电性按 gb/t17473.3 进行。
5.1.2.4 电池电极的可焊性按 gb/t17473.7 进行。
5.1.3 背面铝膜
5.1.3.1 背面铝膜与基体材料的匹配性检测
通过检测电池的弯曲变形，验证背面铝膜材料的热膨胀系数与基体材料的匹配性。适用表面平整度优于 0.01mm 平台，电池背面朝下水平放置，用分辨力优于 0.01mm 的量具进行检验。
5.1.3.2 背面铝膜与基体材料的附着强度测验
如图 2 所示放置样品，在满足 eva 充分交联的条件下压层，取出后立即撕下四氟布，待冷却到室温后，用刀割断 eva 和铝膜，撕去 eva 条，观察有无铝膜脱落。
5.1.3.3 背面铝膜外观检验
背面铝膜的凸起高度应使用分辨力优于 0.01mm 的带标尺的光学显微镜测量，图形缺陷采用目测。图形位移采用分辨力优于 0.02mm 的卡尺测量。
5.1.3.4 背面铝膜的导电性检测背面铝膜的导电性按gb/t17473.3 进行。
5.1.4 减反射膜附着强度检测
减反射膜附着强度的测试采用胶带试验测定粘合性的方法，胶带附着强度不小于 44n/mm 。具体按 astm3359 进行，减反射膜不脱落。
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