振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:---回收硅片,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,铜川光伏组件,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,el,---测试,二手,旧工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,---偿还,返工,光伏模块回收等。
电池片流程
扩散制结: 太阳能电池需要一个大面积的 pn 结以实现光电转化, 而扩散炉就是制造太阳能电池p-n 结的---设备。扩散用---为扩散源。在 830 度的高温下用氮气将---带入石英容器,通过---和硅片进行反应,得到磷离子,通过硅原子质检的空隙向硅片内扩散,形成 p-n 结。
需注意 :
石英舟一舟可放置 500 片, 扩散面需跟制绒面在同一面上,扩散为单面扩散,工艺流程为 83 分钟。
湿法刻蚀: 利用 hno3 和 hf 的混合液体对扩散后硅片下表面和边缘进行腐蚀 , 去除边缘的 n 型硅 , 使得硅片的上下表---互绝缘。
需注意 : 刻蚀分为干湿两法 ,目前采用湿法,刻蚀后需做亲水性测试。
如何判断亲水性是否---?
用纯水滴在硅片上看硅片上的扩散面积。机械臂流片需要返工因臭氧层丢失。
pevcd: 镀减反射膜可以有效降低光的反射 .
需注意 : 石墨舟一周可放置 240 片硅片,流程为 50 分钟, 在此阶段会发生色斑,色差等问题。
丝网印刷 : 把带有图案的模版附着于丝网上进行印刷 , 通常丝网由尼龙、聚酯、丝绸或金属网制作而成 , 承印物直接放在带有模版的丝网下面,浆料在刮刀的挤压下穿过丝网间的网孔 , 只有图像部分能穿过,印刷到承印物上印刷流程为背电极——背电场——正电极。
需注意 : 断栅 问题会出现在此工艺段。也是电池片的后一大工艺段。
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影响因素
1 .频率
射频 pecvd 系统大都采用 50khz~13.56 mhz 的工业频段射频电源。较高频率( >;4mhz )沉积的氮化硅薄膜具有---的钝化效果和稳定性。
2 .射频功率
增加 rf 功率通常会--- sin 膜的。但是,功率密度不宜过大,超过 1w/cm2 时器件会造成---的射频损伤。
3 .衬底温度
pecvd 膜的沉积温度一般为 250 ~ 400 ℃ 。这样能---氮化硅薄膜在hf 中有足够低的腐蚀速率,并有较低的本征压力,从而有---的热稳定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉积的氮化硅膜,本征应力很大且为张应力,而温度高于 450 ℃ 时膜容易龟裂。
4 .气体流量
影响氮化硅膜沉积速率的主要气体是 sih4 。为了防止富硅膜,选择nh3/sih4=2~20 (体积比)。气体总流量直接影响沉积的均匀性。为了防止反应区下游反应气体因耗尽而降低沉积速率,通常采用较大的气体总流量,以---沉积的均匀性。
5 .反应气体浓度
sih4 的百分比浓度及 sih4/nh3 流量比,对沉积速率、氮化硅膜的组分及物化性质均有重大影响。
理想 si3n4 的 si/n = 0.75 ,而 pecvd 沉积的氮化硅的化学计量比会随工艺不同而变化,但多为富硅膜,可写成 sin 。因此,必须控制气体中的 sih4 浓度,不宜过高,并采用较高的 sin 比。除了 si 和 n 外, pecvd 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子,即 sixnyhz 或 sinx :h 。
6 .反应压力、和反应室尺寸 等都是影响氮化硅薄膜的性能工艺参数。
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影响因素
1. 温度
温度过高,首先就是 ipa不好控制,温度一高, ipa 的挥发很快,气泡印就会随之出现,这样就---减少了 pn 结的有效面积,反应加剧 , 还会出现片子的漂浮,造成碎片率的增加。
可控程度:调节机器的设置,可以---的调节温度。
2. 时间
金字塔随时间的变化:金字塔逐渐冒出来;表面上基本被小金字塔覆盖,少数开始成长;金字塔密布的绒面已经形成,只是大小不均匀,反射率也降到比较低的情况;金字塔向外扩张兼并,体积逐渐膨胀,尺寸趋于均等,库存光伏组件回收,反射率略有下降。可控程度:调节设备参数,可以调节时间。
3.ipa
1. 协助氢气的释放。 2. 减弱 naoh 溶液对硅片的腐蚀力度,调节各向因子。纯 naoh 溶液在高温下对原子排列比较稀疏的 100 晶面和比较致密的 111 晶面破坏比较大,各个晶面被腐蚀而消融, ipa 明显减弱 naoh 的腐蚀强度,增加了腐蚀的各向---,有利于金字塔的成形。---含量过高,碱溶液对硅溶液腐蚀能力变得很弱,各向---因子又趋于 1 。
可控程度:根据配液的含量,及每次大约消耗的量,来补充一定量的液体,控制精度不高。
4.naoh
形成金字塔绒面。 naoh浓度越高,金字塔体积越小,反应初期,金字塔成核密度近似不受 naoh 浓度影响,碱溶液的腐蚀性随 naoh 浓度变化比较---,浓度高的 naoh 溶液与硅反映的速度加快,再反应一段时间后,金字塔体积。 naoh 浓度超过一定界---,各向---因子变小,绒面会越来越差,类似于抛光。可控程度:与 ipa 类似,控制精度不高。
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