切割晶圆片后,开始进入研磨工艺。研磨晶圆片以减少正面和背面的锯痕和表面损伤。同时打薄晶圆片并帮助释放切割过程中积累的应力。
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抛光后,晶圆片要通过一系列清洗槽的清洗,这一过程是为去除表面颗粒、金属划痕和残留物。由于硅很硬,要用金刚石锯来准确切割晶圆片,以得到比要求尺寸要厚一些的晶片。之后,要经常进行背面擦洗以去除的颗粒。这些晶圆片经过清洗后,将他们按照终用户的要求分类,并在高强度灯光或激光扫描系统下检查,以便发现不---的颗粒或其他缺陷。
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在各大科技厂商中,ibm是建议将碳纳米管应用于微电子领域的强力支持者之一,该公司已经明确表示希望碳纳米管技术将在接下来的十年内准备就绪,届时预计半导体芯片的尺寸将缩小至5纳米的---尺寸。为了形成64k地址,必须在系统地址总线和芯片地址引线之间专门设计一个地址形成电路。但截至目前,各大学和芯片厂商的研究人员还只能成功地将碳纳米管用于单独器件的制作,如制作晶体管等。
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