进入超净间前,工人必须进入吸尘室内以吹走可能积聚的任何颗粒。硅晶片大多数生产型晶圆片都要经过两三次的抛光,抛光料是细浆或者抛光化合物。多数情况下,晶圆片仅仅是正面抛光,而300毫米的晶圆片需要双面抛光。
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然后将这些物质加热到硅的熔点——摄氏1420度之上。一旦多晶硅和掺杂剂混合物熔解,便将单晶硅种子放在熔解物的上面,只接触表面。种子与要求的成品硅锭有相同的晶向。为了使掺杂均匀,子晶和用来熔化硅的坩埚要以相反的方向旋转。
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斯坦福大学所展示的这一技术进步则标志着完整的工作电路已被创造出来,表明这种材料可能真的会达到人们的期望。
硅是一种普遍存在的自然元素,既可当做导体,也可当做绝缘体。硅芯片的生命周期相较计算机---原本的设想已经长了数十年,这是因为虽然晶体管的尺寸在一代代变小,但人们总有相应的---工艺在上面蚀刻电路。
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