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pecvd
pe 目的
在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,减少反射,氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。
其化学反应可以简单写成 : sih 4 +nh 3 =sin:h+3h 2 。
基本 原理
pecvd 技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加---体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。 pecvd 方法区别于其它 cvd 方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,它们可以提供化学气相沉积过程所需的---能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程,生成活性---的各种化学基团,因而---降低 cvd 薄膜沉积的温度范围,使得原来需要在高温下才能进行的 cvd 过程得以在低温下实现。
基本特征
1. 薄膜沉积工艺的低温化( < 450 ℃ )。
2. 节省能源,降低成本。
3. 提高产能。
4. 减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减。
扩散方式
pe 设备有两类:平板式和管式。
按反应方式分为:直接式(岛津)和间接式( roth & rau )。
直接式:基片位于一个电极上,直接接触等离子体。
间接式:基片不接触激发电极。 在微波激发等离子的设备里,等离子产生在反应腔之外,然后由石英管导入反应腔中。在这种设备里微波只激发 nh3 ,而 sih4 直接进入反应腔。间接 pecvd 的沉积速率比直接的要高很多,这对---生产尤其重要。
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美国是在废旧电池自然环境管理工作法律数较多较细的1个---家,不但创建了健全的废电池回收管理体系,并且创建了好几家废旧电池处理站,一起锲而不舍向群众开展主题教育,让群众主动地适用和相互配合废旧电池的收购工作中。
对废旧电池的综合利用应当有严苛的程序流程:
(1)置放型的废旧电池回收桶;
(2)按时专职人员---搜集;
(3)充电电池归类;
(4)仓库归类并安全性存储;
( 5)集中化到必须总数后运到---处理站;
(6)解决运用---金属镉。
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电池片流程
1、 车间段位构成
whq :硅片为太阳能电池片的载体,硅片的决定了电池片的转换效率。而该工序则是对硅片的来料检测,主要是包括厚度, ttv ,电阻率,外观 (破片,缺角,孔洞,脏污)
需注意 :
1) 切割方向会厚薄不均,放片时需 180 度错落放置以---放入载体厚薄均匀,切割方向需要垂直与印刷 细 栅方向,预防水波纹出现。
2) 线痕: 单线痕
密集线痕
3 )原硅片因切割后因有清洗所以会有粘度导致原硅片粘连,放置时需轻微摇晃。
制绒: 目的:去除表面损伤层,对表面进行凹凸处理 ,清楚表面硅酸钠,氧化物,油污以及金属。以提高光电转换率。
需注意 :
减重 ,活性不均匀会影响到后面 pevcd 工序使硅片出现问题制绒过程中, 制绒面朝下,装入载体,载体单孔面为制绒面。在制品时间为两小时,两小时内要及时送入下一工序。
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关键词: 硅片回收/回收硅片 - 电池片回收电池片 - 多晶硅/单晶硅 - 太阳能电池板 - 光伏组件回收