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刻蚀原理

硅的湿法刻蚀是指利用含有腐蚀剂的溶液对硅进行腐蚀 , 可分为各向同性腐蚀技术和各向---腐蚀技术。各向同性腐蚀是指各个晶向上的腐蚀速率相同 , 衬底和表面取向的不同对腐蚀速率的影响不大。 各向---腐蚀是指硅的不同晶面在某些特定的腐蚀液中被刻蚀的速率不同 , 导致各个晶向的腐蚀速率不同。现出结构边缘平滑的现象。各向同性腐蚀液常用 hf、 hn o 3 和 h2o(ch3cooh) , 用这些腐蚀液很难实现选择性腐蚀 , 并且很难能找到能够长时间承受腐蚀的材料。如何采购到高的组件成为众多epc企业发展道路上必须跨越的一道坎。 各向---腐蚀液包括无机腐蚀剂和有机腐蚀剂两种 , 其中无机腐蚀剂为 nh4oh、 koh 和 naoh 等碱性溶液 , 有机腐蚀剂为 tmah 、epw( ---二酚、乙二胺、水 ) 和联胺。

通常情况下选用 koh、 ( ch3) 2choh ( 也叫 ipa) [ 8] 和水作为各向---腐蚀液 ,则根据硅在腐蚀液中的腐蚀机制可表示如下：

koh+ h3o= k++2oh- +h +

si+ 2oh -+ 4h 2o=si( oh)62-

si( oh) 6 2- + 6( ch 3) 2ch oh= [ si( oc3h7 ) ] 62- + 6h 2o

然后，络合产物与作用生成可溶解。

    二氧化硅是硅的金属氧化物，它普遍存有于大自然中，与别的矿物质相互组成了岩层。二氧化硅也叫硅石，是一种硬实难熔的固态。二氧化硅的物理性质不开朗，不与水反映，都不与酸反映，但能与碱性氧化物或强酸反映转化成盐有效的设计方案安装，不容易危害房屋原来结构，也不容易对周边环境造成危害，对于住房屋顶，根据与物业公司的有效沟通交流---，表明分布式系统屋顶发电厂的安装步骤及针对房屋总体美观大方性的积极主动功效后，一般都能够---地开展安装，现阶段许多沿海城市比较发达城市的屋顶都早已逐渐安装起來。在产品范围不明情况下，美调查---竟然能够做出初裁，并计算出相应税率，。