芯片的背部减薄制程
磊晶之后的蓝宝石基板就成为了外延片,外延片在经过蚀刻、蒸镀、电极制作、保护层制作等一系列复杂的半导体制程之后,还需要切割成一粒粒的芯片,根据芯片的大小,一片2英寸的外延片可以切割成为数千万个chip。前文讲到此时外延片的厚度在430um附近,由于蓝宝石的硬度以及脆性,普通切割工艺难以对其进行加工。目前普遍的工艺是将外延片从430um减薄至100um附近,然后再使用镭射进行切割。
生产蓝宝石晶体主要消耗的原料为5n高纯氧化体,块体 。目前国内生产高纯氧化铝的主流技术有三种:多重结晶法、醇盐水解法、直接水解法。1, 多重结晶法具体又分为硫酸铝铵热解法和碳酸铝铵热解法。目前国内山东,上海,贵州等地的厂家,多数采取这种方法。它的缺点就是金属铁、镍、钛、锆等离子以及卤素元素难以去除,纯度可以达到4n,基本已经---了,实际是3个9;从纯度上说,它的缺陷挺大,一般只能用在焰熔法宝石上,要直接拿来做大尺寸蓝宝石晶体原料就很难。无法满足要求。
随着近年来国内光伏市场的扩大和分布式光伏发电系统的发展,电站设计人员对各类光伏组件产品性能也提出更高要求。目前,对于光伏组件的电气性能测试主要依赖实验室内的太阳光模拟器,检测其输出特性曲线,库存组件回收采购收购,该方法便于控制辐照度及温度等环境参数。但光伏组件实际工作于户外复杂环境,其输出功率易受到灰尘、沙砾、雨雪等因素影响,输出特性也可能因建筑、树荫等周期性阴影改变,因此光伏组件实际输出功率一般远低于实验室内理想环境下的输出功率。目前,---对光伏阵列的iv特性测量已提出了部分方法,主要是采用动态电容充电方法,现场的同步测量光伏阵列iv特性。该方法测量速度较快,对控制器的采样速率要求也较高。此外,也有基于可变电子负载的现场测量方法,它对光伏阵列iv特性曲线上大功率点附近测量点较多,但对短路和开路点附近测量点数量较少,当光伏阵列处于轻微失配或遮蔽等工况下,该方法难以实现对此现象的测量。针对如何更细致的反应光伏组件户外输出性能,提出了户外光伏组件测试平台,它使光伏组件长期工作于户外环境下,实时监测其输出特性,并积累测量数据,以评估组件长期工作于户外环境下的输出性能,使电站设计人员针对具体环境,选用更合理的光伏组件搭建光伏系统。也为组件生产商和科研实验工作提供了---的保障与技术支持。
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