现价段,的多晶硅厂家都是直接购进---氢硅,有合成---氢硅工序的很少。因为---氢硅的合成是---和硅粉在高压高温下反应生成,类似于合成氨。所以一方面危险性高,另一方面硅粉分离比较成问题,还有一方面投资也大。本来一个年产300吨多晶硅规模的不要合成---氢硅工序就要投资一亿多,所以一般企业都不上。
多晶硅的生产工艺主要由高纯石英(经高温焦碳还原)***工业硅(酸洗)***硅粉(加hcl)***sihcl3(经过粗馏精馏)***高纯sihcl3(和h2反应cvd工艺)***高纯多晶硅。
九、---设备
在电池片生产过程中,还需要供电、动力、给水、排水、暖通、真空、特汽等---设施。消防和设备对于---安全和持续发展也显得尤为重要。一条年产50mw能力的太阳能电池片生产线,仅工艺和动力设备用电功率就在1800kw左右。工艺纯水的用量在每小时15吨左右,水质要求达到电子级水gb/t11446.1-1997中ew-1级技术标准。工艺冷却水用量也在每小时15吨左右,水质中微粒粒径不宜大于10微米,供水温度宜在15-20℃。真空排气量在300m3/h左右。同时,还需要大约氮气储罐20立方米,氧气储罐10立方米。考虑到特殊气体如---的安全因素,还需要单独设置一个特气间,以---生产安全。另外,---燃烧塔、污水处理站等也是电池片生产的---设施。
三、扩散制结
太阳能电池需要一个大面积的pn结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池pn结的设备。管式扩散炉主要由石英舟的上---部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用---液态源作为扩散源。把p型硅片放在管式扩散炉的石英容器内,在850---900摄氏度高温下使用氮气将---带入石英容器,通过---和硅片进行反应,得到磷原子。经过一定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了n型半导体和p型半导体的交界面,也就是pn结。这种方法制出的pn结均匀性好,方块电阻的不均匀性小于百分之十,少子寿命可大于10ms。制造pn结是太阳电池生产基本也是关键的工序。因为正是pn结的形成,才使电子和空穴在流动后不再回到原处,这样就形成了电流,用导线将电流引出,就是直流电。
太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测——表面制绒——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀——镀减反射膜——丝网印刷——快速烧结等。
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