硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着---的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展,使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和,甚至悄悄进入每一个家庭。
地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入---市场(massmarket)的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。
市场变化趋势:
1.led芯片4英寸以上的替代率快速提升,国内三安新增mocvd机型及对现有的2英寸机台升级,国外如三星等芯片厂开始6英寸的批量生产,4英寸单位成本相对于2英寸的优势---。有理由相信今年对于晶体的考核指标在led都将折算成4英寸,这就要求大容量单晶炉的开发能尽快跟上。
2.蓝宝石的成本究竟在哪里?很多客户比较关注的是晶棒的市场价格走势,在不考虑电价和补贴的情况下,决定其真正成本的不外乎就是以下三点:设备可使用率及晶体良率、单位能耗、主要热场部件的使用寿命和成本。
芯片的背部减薄制程
磊晶之后的蓝宝石基板就成为了外延片,外延片在经过蚀刻、蒸镀、电极制作、保护层制作等一系列复杂的半导体制程之后,还需要切割成一粒粒的芯片,根据芯片的大小,一片2英寸的外延片可以切割成为数千万个chip。前文讲到此时外延片的厚度在430um附近,由于蓝宝石的硬度以及脆性,普通切割工艺难以对其进行加工。目前普遍的工艺是将外延片从430um减薄至100um附近,然后再使用镭射进行切割。
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